[发明专利]实现温度变化期间的尺寸稳定性的结构

摘要

描述了用于在纳米压痕测量系统中的加热或冷却的样品固定台。设计的几何形状和材料的选择使得样品架在较宽的温度范围内相对于纳米压痕尖端的移动最小化。该系统对由于在高温纳米压痕系统中尖端和/或样品的加热而引起的样品运动和/或压痕尖端运动进行控制和最小化。这是通过几何、材料选择和多个热源冷源的组合来实现的，稳态和瞬态位移响应都可以得到控制的。

主权项

一种用于测量仪器的样品固定台，所述样品固定台包括：样品架，包括：样品平台，具有可以放置样品的上表面和设置在所述上表面下方的下表面；和管状支撑杆，其具有刚性地附接到样品平台的下表面的杆上部和设置在杆上部下方的杆下部；支撑结构，包括：刚性地固定到所述杆下部的基部构件；管状壁构件，其具有刚性地固定到所述基部构件的壁下部和设置在所述壁下部上方的壁上部；以及固定到所述管状壁构件上的唇形构件，所述唇形构件具有中心开口；和壳体，包括：中心孔，其中容纳有支撑结构的基部构件和管状壁构件；和至少部分地围绕所述中心孔的上部的上凸缘，其中所述支撑结构的所述唇形构件刚性地固定到所述壳体的上凸缘，其中所述样品架的管状支撑杆设置在所述支撑结构的管状壁构件的内部，其中所述样品架的所述样品平台的至少一部分设置在所述支撑结构的所述唇形构件的中心开口的内侧，其中样品平台能够因热膨胀或收缩而相对于支撑结构的管状壁构件轴向移动，以及其中支撑结构的基部构件能够因热膨胀或收缩而相对于壳体轴向移动。