[发明专利]条纹投影方法、条纹投影装置和计算机程序产品有效
| 申请号： | 201680025255.0 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN107810384B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 西蒙·温克尔巴赫;马尔库什·里尔克;斯文·莫尔肯斯特鲁克 | 申请（专利权）人： | 惠普德国股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 郭艳芳;康泉 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于确定主体(12)的形貌的条纹投影方法，包括以下步骤：将一系列成组图案(Ti)投影到主体(12)的表面(20)上，其中每个组均具有至少两个图案(Ti)，并且其中每个图案(Ti)均具有S个条纹；对于每个图案(Ti)，记录具有所投影的图案的表面(20)的图像(24.i)，从而形成一系列的记录；以及从所述图像(24.i)计算形貌，其中投影这种图案，其中每个条纹均具有垂直于条纹纵向方向(L)的强度分布，并且每个强度分布均可以由具有空间相位(β)的函数(Q)表达。根据本发明，相位(β)根据条纹的序数(s)的代码(g(s))而变化。 | ||
| 搜索关键词： | 条纹 投影 方法 装置 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
一种用于确定主体(12)的形貌的条纹投影方法，包括以下步骤：(a)将一系列的成组图案(Ti)投影到所述主体(12)的表面(20)上，其中每个组均具有至少两个图案(Ti)，并且其中每个图案(Ti)均具有S个条纹；(b)对于每个图案(Ti)，记录具有所投影的图案的表面(20)的图像(24.i)，从而形成一系列的记录；(c)从所述图像(24.i)计算所述形貌，(d)其中这些图案被投影，其中每个条纹均具有垂直于条纹纵向方向(L)的强度分布，并且每个强度分布均能由具有空间相位(β)的函数(Q)来表示，其特征在于(e)所述相位(β)根据所述条纹的序数(s)的代码(g(s))而改变。
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