[发明专利]切断装置及切断方法有效
申请号: | 201680025726.8 | 申请日: | 2016-06-28 |
公开(公告)号: | CN107530859B | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 山本雅之;深井元树;石桥干司 | 申请(专利权)人: | 东和株式会社 |
主分类号: | B24B27/06 | 分类号: | B24B27/06;B24B45/00;B24D5/16;B26D1/14;B28D1/24;H01L21/301 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 齐葵;周艳玲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在切断装置中设置有以夹持旋转刀的状态固定于旋转轴的第1凸缘及第2凸缘。在第1凸缘上设置有:环状的保持部,在外周部与旋转刀的第1面密接;及环状的第1凹部,在第2凸缘上设置有:环状的保持部,在外周部与旋转刀的第2面密接;及环状的第2凹部。第1凹部与第2凹部隔着旋转刀相对配置。将从第1面至第1凹部的内底面为止的距离与从第2面至第2凹部的内底面为止的距离设定为大于旋转刀的研磨粒的最大直径且小于容许旋转刀变形的范围内的变形量的最大值的相等距离。若旋转刀变形,则研磨粒与第1凹部及第2凹部的内底面接触。 | ||
搜索关键词: | 切断 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种切断装置,具备供载置被切断物的平台、将所述被切断物切断的切断机构、及使所述平台与所述切断机构相对地移动的移动机构,所述切断装置在通过将所述被切断物切断而制造多个制品时使用,所述切断装置的特征在于,具备:旋转轴,设置于所述切断机构;圆板状的旋转刀,相对于所述旋转轴固定;第1固定构件,设置于所述旋转刀的位于靠近所述切断机构的主体侧的第1面侧;第1保持部,设置于所述第1固定构件的外周部,且与形成于所述旋转刀的所述第1面上的研磨粒密接;第1凹部,在所述第1固定构件中设置于所述第1保持部的内侧;第2固定构件,设置于所述旋转刀的作为所述第1面的相反面的第2面侧;第2保持部,设置于所述第2固定构件的外周部,且与形成于所述旋转刀的所述第2面上的研磨粒密接;及第2凹部,在所述第2固定构件中设置于所述第2保持部的内侧,在通过所述第1固定构件与所述第2固定构件夹持所述旋转刀的状态下,所述旋转刀相对于所述旋转轴固定,所述第1凹部与所述第2凹部隔着所述旋转刀相对配置,从所述旋转刀的所述第1面至所述第1凹部的内底面为止的第1距离与从所述旋转刀的所述第2面至所述第2凹部的内底面为止的第2距离是相等的规定距离,所述规定距离大于所述研磨粒的最大直径且小于容许所述旋转刀变形的范围内的变形量的最大值,在进行切断操作之前,从所述旋转刀突出的研磨粒与所述第1凹部及所述第2凹部的内底面不接触,在进行切断操作时,所述旋转刀因离心力而发生变位,从所述旋转刀突出的研磨粒与所述第1凹部及所述第2凹部中的至少一个凹部的内底面接触。
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