[发明专利]活塞环

摘要

提供一种活塞环，该活塞环具有成膜容易且耐磨损性优异的硬质碳膜。构成为具有形成于活塞环基材(1)的至少外周滑动面(11)上的硬质碳膜(4)，该硬质碳膜(4)是由多个层构成的层叠膜，在0.2×10²²原子数/cm³以上且2.0×10²²原子数/cm³以下的原子密度的范围内含有硼，从而解决所述课题。能够构成为，通过使透射式电子显微镜(TEM)与电子能量损失谱法(EELS)的组合TEM－EELS光谱法测定该硬质碳膜(4)的sp²成分比为40％以上且80％以下的范围内，氢含量为0.1原子％以上且5原子％以下的范围内。另外，能够构成为，该硬质碳膜(4)的合计厚度为0.5μm以上且20μm以下的范围内。

主权项

1.一种活塞环，其特征在于，具有形成于活塞环基材的至少外周滑动面上的硬质碳膜，所述硬质碳膜是由多个层构成的层叠膜，构成该层叠膜的各个层使成膜条件重复变化而成膜，在0.2×10²²原子数/cm³以上且2.0×10²²原子数/cm³以下的原子密度的范围内含有硼。