[发明专利]管靶有效
| 申请号： | 201680026293.8 | 申请日： | 2016-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107969159B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 安德烈·德龙豪弗;克里斯汀·林克;伊丽莎白·艾登伯格 | 申请（专利权）人： | 攀时奥地利公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张凯;张杰 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于阴极溅镀设备的标靶(1a至1d)，具有来自一溅镀材料的管状标靶主体(2a至2d)；以及至少一连接件(6a至6d)，其连接至该标靶主体(2a至2d)并自该标靶主体突出，用以将该标靶主体(2a至2d)连接至一阴极溅镀设备，其中该标靶主体(2a至2d)以一真空密闭及防止扭转的方式连接至该至少一连接件(6a至6d)，特征在于至少一阻尼元件(4a至4d')被配置于该至少一连接件(6a至6d)与该标靶主体(2a至2d)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 管靶 | ||
【主权项】：
一种用于阴极溅镀设备的标靶(1a至1d)，具有由溅镀材料制成的管状标靶主体(2a至2d)；以及至少一连接件(6a至6d)，其连接至该标靶主体(2a至2d)并自该标靶主体突出，用以将该标靶主体(2a至2d)连接至阴极溅镀设备，其中该标靶主体(2a至2d)以真空密闭并防止扭转的方式连接至该至少一连接件(6a至6d)，其中至少一阻尼元件(4a至4d')被配置于该至少一连接件(6a至6d)与该标靶主体(2a至2d)之间。
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