[发明专利]由有机铂化合物构成的化学蒸镀用原料及使用了该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法

摘要

本发明涉及下述所示的由在2价铂上配位有烯基胺及烷基阴离子的有机铂化合物构成的化学蒸镀用原料。在下述中，n为1以上5以下。烯基胺的取代基R₁至R₅分别为氢原子、烷基等，并且它们的碳原子数均为4以下。烷基阴离子R₆及R₇分别为碳原子数为1以上3以下的烷基。本发明的原料的蒸气压较高，可在低温下制造铂薄膜，同时也兼具适度的热稳定性。

主权项

1.一种化学蒸镀用原料，其用于通过化学蒸镀法来制造铂薄膜或铂化合物薄膜，所述化学蒸镀用原料由下式所示的在2价铂上配位有烯基胺及烷基阴离子的有机铂化合物构成，[化1]式中，n为1以上5以下；R₁至R₅分别为氢原子、烷基、烯基、炔基、氨基、亚氨基、氰基、异氰基中的任一种，并且它们的碳原子数均为4以下；R₆及R₇分别为碳原子数为1以上3以下的烷基。