[发明专利]弹性波装置有效
| 申请号： | 201680027017.3 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN107615653B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 高井努;田中厚志;甲斐诚二 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 赵琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有层叠有厚度薄的压电薄膜、低声速膜以及高声速部件的构造的弹性波装置，其中，特性的偏差少。弹性波装置(1)，在低声速膜(3)上设置有压电薄膜(4)，在压电薄膜(4)上设置有IDT电极(5)，压电薄膜(4)由压电单晶构成，并具有作为极化轴方向上的正的面的第一主面(4a)和作为极化轴方向上的负的面的第二主面(4b)，压电薄膜(4)的低声速膜(3)侧的主面为第一主面(4a)，IDT电极(5)侧的主面为第二主面(4b)。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【主权项】：
一种弹性波装置，具有压电薄膜，其中，具备：高声速部件，所传播的体波的声速与在所述压电薄膜中传播的主模的弹性波的声速相比为高速；低声速膜，层叠在所述高声速部件上，所传播的体波的声速与在所述压电薄膜中传播的主模的弹性波的声速相比为低速；所述压电薄膜，设置在所述低声速膜上；以及IDT电极，设置在所述压电薄膜上，所述压电薄膜由压电单晶构成，使所述低声速膜侧的主面为极化轴方向上的正面，使所述IDT电极侧的主面为极化轴方向上的负面。
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