[发明专利]表面粗糙度评价方法、表面粗糙度评价装置以及玻璃基板有效
| 申请号： | 201680027249.9 | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107532877B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 高桥祐之;大野和宏;中塚弘树;奥隼人 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28;C03B17/06;C03C15/00;C03C19/00;G01B11/30 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘影娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在使玻璃基板(1)的评价表面粗糙度的评价面与基准玻璃基板(2)的基准平滑面接触的状态下，将玻璃基板(1)与基准玻璃基板(2)重叠而制作层叠体(3)。局部按压层叠体(3)的上表面，基于与按压相伴的玻璃基板(1)的评价面与基准玻璃基板(2)的基准平滑面的紧贴区域的变化形态，来评价玻璃基板(1)的评价面的表面粗糙度。紧贴区域的变化形态利用以按压部(A)为中心的紧贴区域的半径方向的扩展速度来测定。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 紧贴 按压 表面粗糙度 变化形态 层叠体 局部按压 平滑面 上表面 平滑 制作 | ||
【主权项】：
1.一种表面粗糙度评价方法，其是玻璃基板的表面粗糙度评价方法，/n其特征在于，/n在使所述玻璃基板的评价表面粗糙度的评价面与基准玻璃基板的基准平滑面接触的状态下，将所述玻璃基板与所述基准玻璃基板重叠而制作层叠体之后，/n局部按压所述层叠体的至少一方的表面，/n基于与所述按压相伴的所述玻璃基板的评价面与所述基准玻璃基板的基准平滑面的以进行所述按压的部位为中心的紧贴区域的半径方向的变化形态，来评价所述玻璃基板的评价面的表面粗糙度。/n
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