[发明专利]电磁铁装置、电磁铁控制装置、电磁铁控制方法及电磁铁系统在审
| 申请号： | 201680027481.2 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107615890A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 大桥知范;茨田敏光;山崎裕延;工藤美沙子;佐藤一树 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C14/35;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈伟,王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的电磁铁装置具有在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁铁 装置 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种电磁铁装置，用在等离子体处理装置中，其特征在于，具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在所述槽中的环状的线圈；以及以将所述线圈包在内部的方式设置、用于将所述线圈相对于所述磁轭固定且进行传热的树脂，在所述磁轭的所述槽的外周面与设于所述线圈的径向外侧的所述树脂之间设有间隙。
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