[发明专利]压力式流量控制装置及其异常检测方法有效
| 申请号： | 201680027495.4 | 申请日： | 2016-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN108027618B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 杉田胜幸;西野功二;平田薰;泷本昌彦;池田信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01F1/00;G01F1/36 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力式流量控制装置，其具备：收缩部，其介于流路上；上游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，其设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，其通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀而控制流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 流量 控制 装置 及其 异常 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力式流量控制装置，其特征在于，具备：收缩部，所述收缩部介于流路上；上游侧压力传感器，所述上游侧压力传感器用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，所述下游侧压力传感器用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，所述流量控制阀设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，所述运算控制回路通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀，将流量控制为设定流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与上述所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。
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