[发明专利]玻璃及陶瓷研磨用组成物在审
| 申请号： | 201680028684.3 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN108026431A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 上田真稔;鹤村达也 | 申请（专利权）人： | 帝化株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 官建红 |
| 地址： | 日本国大阪府大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃及陶瓷研磨用组成物，其对CMP研磨的适用性佳、因研磨材料粒子为均匀的粒度而不会有产生变质或变形的可能、可稳定地发挥更佳的研磨特性、不易产生研磨伤痕而得到表面缺陷少的良好平滑面，并且可适用于酸性范围至碱性范围的范围广的研磨条件。该玻璃及陶瓷研磨用组成物包含研磨材料，其为通过二氧化硅被覆表面的至少一部分的氧化钛粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 陶瓷 研磨 组成 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃及陶瓷研磨用组成物，其特征在于，包含：研磨材料，其为通过二氧化硅被覆表面的至少一部分的氧化钛粒子。
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