[发明专利]磁控溅射装置用的旋转阴极单元

摘要

本发明提供一种能够尽量快速可靠地排出靶(Tg)内残留的冷却水的磁控溅射装置用的旋转阴极单元(RC)。设置有以旋转驱动靶的驱动块(Db)的内筒体(42)的内部空间为流体循环通道(Fp)的第一去路(46)，以内筒体和外筒体(43)之间的空间为第一回路(47)，在靶内的管体(23，24)上设置与第一去路连通的第二去路(26)和与第一回路连通的第二回路(27)。在外筒体的左侧部分上固定封闭靶的右端开口的圆盘形的调节板(48)，在调节板的右侧的面上形成从调节板的外缘到朝向第一回路的位置为止在径向上延伸的相连通道(48e)，通过相连通道调节第二回路和第一回路之间的流体的流动。具有检测相连通道的径向前端指向竖直方向的下方的调节板的姿态的检测装置(64)。

主权项

1.一种磁控溅射装置用旋转阴极单元，其具有筒状靶、旋转驱动靶的驱动块以及具有使流体循环的流体循环通道的流体循环装置，其特征在于：驱动块具有沿靶的轴线方向延伸的内筒体、与内筒体同心配置且与靶的轴线方向一端 连接的外筒体以及旋转驱动该外筒体的驱动装置，内筒体的内部空间构成流体循环通道的 第一去路，同时，内筒体和外筒体之间的空间构成流体循环通道的第一回路，靶外套在沿其轴线方向延伸的管体外，该管体具有外套有靶的外管和内管，内管的内部空间构成与流体循环通道的第一去路连通的流体循环通道的第二去路，外管和内管之间的空间构成与第一回路连通的流体循环通道的第二回路；以从靶朝向驱动块侧为右侧，以从驱动块朝向靶侧为左侧，在外筒体的左侧部分上固定封闭靶的右端开口的圆盘形的调节板，在调节板的右侧的面上形成从调节板的外缘到朝向第一回路的位置为止在径向上延伸的相连通道，并通过该相连通道调节第二回路和第一回路之间的流体的流动，具有检测相连通道的径向前端指向竖直方向的下方的调节板的姿态的检测装置。