[发明专利]铝合金溅射靶材有效
| 申请号： | 201680029641.7 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN107614745B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 高木胜寿 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/00;C22F1/00;C22F1/04;G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是一种铝合金溅射靶材，其包含含有0.1原子％～3原子％的Nd的铝合金，X射线衍射峰值强度满足下述式(1)的关系，维氏硬度为29～36；IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111)…(1)式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射线衍射峰值强度，IAl(311)表示Al(311)面的X射线衍射峰值强度，IAl(220)表示Al(220)面的X射线衍射峰值强度，IAl(111)表示Al(111)面的X射线衍射峰值强度。 | ||
| 搜索关键词： | 铝合金 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种铝合金溅射靶材，其包含含有0.1原子％以上、3原子％以下的Nd，且更含有Ti：0.0005原子％以上、0.01原子％以下及B：0.0005原子％以上、0.01原子％以下中至少一种，其余部分为Al及不可避免的杂质的铝合金，所述铝合金溅射靶材的特征在于：X射线衍射图案中的Al(200)面的X射线衍射峰值强度、Al(311)面的X射线衍射峰值强度、Al(220)面的X射线衍射峰值强度及Al(111)面的X射线衍射峰值强度满足下述式(1)的关系，且维氏硬度Hv为29以上、36以下；IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111)…(1)式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射线衍射峰值强度，IAl(311)表示Al(311)面的X射线衍射峰值强度，IAl(220)表示Al(220)面的X射线衍射峰值强度，IAl(111)表示Al(111)面的X射线衍射峰值强度。
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