[发明专利]用于制造金刚石电极的方法和金刚石电极有效

专利信息
申请号: 201680030255.X 申请日: 2016-05-25
公开(公告)号: CN107949661B 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: M·弗里达;T·马特 申请(专利权)人: 康迪亚斯有限责任公司
主分类号: C30B33/12 分类号: C30B33/12;C23C16/02;C23C16/27
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 侯鸣慧
地址: 德国伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于制造金刚石电极的方法,所述方法具有以下步骤:a)提供由硅组成的基体2,该基体的尺寸大于要制造的所述金刚石电极22的尺寸,b)将至少一个凹部10蚀刻到所述基体2的表面8中,c)将额定断裂部位18引入到所述基体2中,d)向所述基体2覆以金刚石层,e)将所述金刚石电极22从所述基体2中沿着所述额定断裂部位18折断出。
搜索关键词: 用于 制造 金刚石 电极 方法
【主权项】:
用于制造金刚石电极(22)的方法,所述方法具有以下步骤:a)提供由硅组成的基体(2),该基体的尺寸大于要制造的所述金刚石电极(22)的尺寸,b)将至少一个凹部(10)蚀刻到所述基体(2)的表面(8)中,c)将额定断裂部位(18)引入到所述基体(2)中,d)向所述基体(2)覆以金刚石层,e)将所述金刚石电极(22)从所述基体(2)中沿着所述额定断裂部位(18)折断出。
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