[发明专利]用于制造金刚石电极的方法和金刚石电极有效
| 申请号： | 201680030255.X | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN107949661B | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | M·弗里达;T·马特 | 申请（专利权）人： | 康迪亚斯有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12;C23C16/02;C23C16/27 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造金刚石电极的方法，所述方法具有以下步骤：a)提供由硅组成的基体2，该基体的尺寸大于要制造的所述金刚石电极22的尺寸，b)将至少一个凹部10蚀刻到所述基体2的表面8中，c)将额定断裂部位18引入到所述基体2中，d)向所述基体2覆以金刚石层，e)将所述金刚石电极22从所述基体2中沿着所述额定断裂部位18折断出。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 金刚石 电极 方法 | ||
【主权项】：
用于制造金刚石电极(22)的方法，所述方法具有以下步骤：a)提供由硅组成的基体(2)，该基体的尺寸大于要制造的所述金刚石电极(22)的尺寸，b)将至少一个凹部(10)蚀刻到所述基体(2)的表面(8)中，c)将额定断裂部位(18)引入到所述基体(2)中，d)向所述基体(2)覆以金刚石层，e)将所述金刚石电极(22)从所述基体(2)中沿着所述额定断裂部位(18)折断出。
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