[发明专利]基于硅的熔融组合物和使用其的SiC单晶的制造方法有效
申请号: | 201680031312.6 | 申请日: | 2016-10-25 |
公开(公告)号: | CN107683520B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 郑粲烨;高正旼;金大星;李星秀;殷畅鲜 | 申请(专利权)人: | 株式会社LG化学 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;C30B29/36 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 蔡胜有;苏虹 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及一种基于硅的熔融组合物以用于通过溶液法形成SiC单晶,所述组合物包含硅、碳和由以下式(1)定义的溶解度参数(C |
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搜索关键词: | 基于 熔融 组合 使用 sic 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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