[发明专利]具有活性钎焊的压力传感器有效
申请号: | 201680031779.0 | 申请日: | 2016-05-10 |
公开(公告)号: | CN107743578B | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 安德烈亚斯·罗斯贝格;埃尔克·施密特;马库斯·雷滕迈尔;彼得·西格蒙德;乌塔·库恩;西蒙·保利;尼尔斯·波纳特 | 申请(专利权)人: | 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L19/14 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 穆森;戚传江 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种压力传感器,其包括经由活性钎焊接合部(7)连接在一起的两个主体,该活性钎焊接合部(7)通过对活性硬焊料进行活性钎焊来生产,该两个主体特别是测量膜(1),尤其是陶瓷测量膜(1),和基础主体(3),特别是陶瓷基础主体(3),所述测量膜通过施加压力且经受压力(p)而可弹性变形,该测量膜(1)和基础主体(3)通过连接测量膜(1)的外边缘(包含压力室(5))与基础主体(3)的面向测量膜(1)的前侧的外边缘的活性钎焊接合部(7)连接,压力传感器的测量特性被改进在于,活性钎焊接合部(7)具有取决于活性钎焊接合部(7)的度量和主体的材料,并且适配于至少一个主体,特别是测量膜(1)的热膨胀系数的热膨胀系数。 | ||
搜索关键词: | 具有 活性 钎焊 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种压力传感器,包括:‑经由活性钎焊接合部(7)彼此连接的两个部件,所述活性钎焊接合部(7)通过利用活性硬焊料或钎焊料进行的活性硬焊或钎焊制造,所述两个部件尤其是可接触压力(p)的、依赖于压力地可弹性变形的测量膜(1),尤其是陶瓷测量膜(1),和平台(3),尤其是陶瓷平台(3),所述测量膜(1)和所述平台(3)通过将覆盖压力室(5)的所述测量膜(1)的外边缘与所述平台(3)的端部的面向所述测量膜(1)的外边缘连接的活性钎焊接合部(7)连接,‑其中,所述活性钎焊接合部(7)具有取决于所述活性钎焊接合部(7)的尺寸和所述部件的材料并且与所述部件中的至少一个,尤其是所述测量膜(1)的热膨胀系数匹配的热膨胀系数。
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