[发明专利]高效率激光支持等离子体光源有效
| 申请号： | 201680032513.8 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107710880B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | M·德斯泰恩;I·贝泽尔;A·谢梅利宁;E·希夫林 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于产生激光支持宽带光的系统，其包含：泵浦源，其经配置以产生泵浦光束；气体容纳结构，其用于容纳气体；及多通光学组合件。所述多通光学组合件包含一或多个光学元件，所述一或多个光学元件经配置以执行所述泵浦光束多次通过所述气体的一部分来支持发射宽带光的等离子体。所述一或多个光学元件经布置以收集透射通过所述等离子体的所述泵浦光束的未吸收部分且将所述泵浦光束的所述收集的未吸收部分导引回到所述气体的所述部分中。 | ||
| 搜索关键词： | 高效率 激光 支持 等离子体 光源 | ||
【主权项】：
一种系统，其包括：泵浦源，其经配置以产生泵浦光束；气体容纳结构，其用于容纳气体；及多通光学组合件，其中所述多通光学组合件包含一或多个光学元件，所述一或多个光学元件经配置以执行所述泵浦光束多次通过所述气体的一部分来支持发射宽带光的等离子体，其中所述一或多个光学元件经布置以收集透射通过所述等离子体的所述泵浦光束的未吸收部分且将所述泵浦光束的所述收集的未吸收部分导引回到所述气体的所述部分中。
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