[发明专利]可动反射装置和使用该可动反射装置的反射面驱动系统

摘要

利用两条字母U字状臂部将形成有反射层(165)的镜体部(160)支承在框状的支承部(110)的内部。板状的臂部(120)将固定点(Q1、Q2)之间连接起来，板状的臂部(130)将固定点(Q3、Q4)之间连接起来。在臂部(120)的外侧的桥梁体(121)的上表面沿长度方向轴线(L1)设有一对压电元件(E11、E12)，在内侧的桥梁体(122)的上表面沿着长度方向轴线(L2)设有单一的压电元件(E20)。同样，在臂部(130)的外侧的桥梁体(131)的上表面设有一对压电元件(E31、E32)，在内侧的桥梁体(132)的上表面设有单一的压电元件(E40)。对压电元件(E11、E20、E31、E40)发送正驱动信号，对压电元件(E12、E32)发送负驱动信号时，镜体部(160)有效地产生位移。

主权项

一种可动反射装置，其包括具有反射面的镜体部、用于支承所述镜体部的支承部、一端固定于所述支承部且另一端固定于所述镜体部的臂部以及基于收到的电信号使所述臂部产生变形的压电元件，通过利用所述压电元件使所述臂部变形，能够控制所述镜体部相对于所述支承部的相对位置，其中，所述臂部包括n条桥梁体和n+1个中间连接体，沿着一条连接路径将所述支承部的预定部位和所述镜体部的预定部位连接起来，其中，n≥2，所述n条桥梁体是各自沿着预定的长度方向轴线延伸的板状的构造体，当将各桥梁体的两端中的、在所述连接路径上靠近所述支承部的那侧称为基端部，将在所述连接路径上靠近所述镜体部的那侧称为末端部时，1号中间连接体连接所述支承部的预定部位和1号桥梁体的基端部，i号中间连接体连接i－1号桥梁体的末端部和i号桥梁体的基端部，n+1号中间连接体连接n号桥梁体的末端部和所述镜体部的预定部位，其中，2≤i≤n，在1号～n－1号桥梁体各自设有配置于基端部侧的基端部侧压电元件和配置于末端部侧的末端部侧压电元件，在n号桥梁体设有从基端部附近延伸到末端部附近的纵贯压电元件，所述基端部侧压电元件、所述末端部侧压电元件和所述纵贯压电元件均设于桥梁体的上表面或下表面，基于收到的电信号使桥梁体的表面沿着长度方向轴线伸缩。