[发明专利]将物场成像至像场中的成像光学单元，以及包括这种成像光学单元的投射曝光设备

摘要

本发明涉及投射光刻的成像光学单元(7)，其具有多个反射镜(M1至M8)，用于将成像光(3)从物场(4)引导到像场(8)中。物场(4)跨越于两个物场坐标(x，y)，法线坐标(z)垂直于这两个物场坐标。成像光(3)在第一成像光平面(xzHR)中传播穿过成像光学单元(7)的至少一个第一平面中间像(18)。在第二成像光平面(yz)中，成像光传播穿过成像光学单元(7)的至少一个第二平面中间像(19，20)。第一平面中间像(18)的数量和第二平面中间像(19，20)的数量彼此不同。结果是制造成本减少的成像光学单元。

主权项

投射光刻的成像光学单元(7；21；22；23；26；27；29)‑包括多个反射镜(M1至M8；M1至M6；M1至M7；M1至M9；M1至M10)，所述多个反射镜沿着成像光束路径将成像光(3)从物平面(5)中的物场(4)引导到像平面(9)中的像场(8)中；‑其中所述物场(4)由以下跨越‑‑第一笛卡尔物场坐标(x)，和‑‑第二笛卡尔物场坐标(y)，以及‑其中第三笛卡尔法线坐标(z)垂直于这两个物场坐标(x，y)；‑其中所述成像光学单元(7；21；22；23；26；27；29)实施为使得：‑‑所述成像光(3)在第一成像光平面(xzHR)中传播，成像光主要传播方向(zHR)位于所述第一成像光平面中，以及‑‑所述成像光(3)在所述第二成像光平面(yz)中传播，所述成像光主要传播方向(zHR)位于所述第二成像光平面中，并且所述第二成像光平面垂直于所述第一成像光平面(xzHR)；‑其中在所述第一成像光平面(xzHR)中传播的所述成像光(3)的第一平面中间像(18)的数量和在所述第二成像光平面(yz)中传播的成像光(3)的第二平面中间像(19，20；24，19，25)的数量彼此不同。