[发明专利]基板保持装置、成膜装置和基板保持方法

摘要

本发明提供一种能够确保掩膜与基板之间的紧贴性的基板保持装置。基板保持装置(30)具有掩膜板(311)、中间板(32)、保持板(33)和推压机构(34)。掩膜板(311)由磁性材料构成。中间板(32)构成为，具有与掩膜板(311)相向的第1表面、和与所述第1表面相反一侧的第2表面，所述第1表面能够与配置于掩膜板(311)上的基板(W)接触。保持板(33)以中间板(32)能够在与掩膜板(311)正交的轴向上作相对移动的方式支承该中间板(32)，并且具有磁铁(331)，该磁铁(331)构成为，能够隔着中间板(32)和基板(W)对掩膜板(311)进行磁吸附。推压机构(34)与所述第2表面相向配置，且其构成为能够沿所述轴向对所述第2表面的至少局部进行推压。

主权项

一种基板保持装置，其特征在于，具有掩膜板、中间板、保持板和推压机构，其中，所述掩膜板由磁性材料构成；所述中间板被构成为：具有与所述掩膜板相向的第1表面和与所述第1表面相反一侧的第2表面，且所述第1表面能与被配置于所述掩膜板上的基板接触；所述保持板以使所述中间板能在与所述掩膜板正交的轴向上相对移动的方式来支承该中间板，并且所述保持板具有磁铁，该磁铁被构成为能隔着所述中间板和所述基板来对所述掩膜板进行磁吸附；所述推压机构与所述第2表面相向配置，且所述推压机构被构成为能沿着所述轴向对所述第2表面的至少局部进行推压。