[发明专利]用于处理透明材料的方法及设备在审
| 申请号： | 201680034465.6 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107925217A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 杰佛利·洛特;尼可拉斯·法勒托;莱纳·克林 | 申请（专利权）人： | 伊雷克托科学工业股份有限公司;阿尔法诺夫科技中心 |
| 主分类号： | H01S5/062 | 分类号： | H01S5/062;H01S3/16;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京寰华知识产权代理有限公司11408 | 代理人： | 林柳岑 |
| 地址： | 美国奥勒冈州9722*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在一基板中形成特征的方法包括用一射束的雷射脉冲来照射一基板，其中该雷射脉冲具有一波长，该波长经选择以使得该射束的雷射脉冲穿过该基板的一第一表面传输至该基板的内部中。该射束的雷射脉冲经聚焦以在该基板的一第二表面上或附近形成一射束腰部，其中该第二表面沿z轴方向与该第一表面间隔开，且该射束腰部在自该基板的该第二表面朝向该基板的该第一表面延伸的螺旋图案中平移。该射束的雷射脉冲由在20kHz至3MHz范围内的脉冲重复率、脉冲持续时间、脉冲重叠及z轴平移速度来特征化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 透明 材料 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种在基板中形成特征的方法，其特征在于，该方法包含：用一射束的雷射脉冲来照射基板，其中该雷射脉冲具有一波长，该波长经选择以使得该射束的雷射脉冲穿过该基板的第一表面传输至该基板的内部中；将该射束的雷射脉冲聚焦以在该基板的第二表面上或附近形成射束腰部，其中该第二表面沿z轴方向与该第一表面间隔开；以及使该射束腰部在自该基板的该第二表面朝向该基板的该第一表面延伸的螺旋图案中平移，以对该基板进行融蚀，其中该射束的雷射脉冲至少部分地藉由脉冲重复率、脉冲持续时间、脉冲重叠及z轴平移速度来特征化，其中该脉冲重复率在20kHz至3MHz范围内。
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