[发明专利]光学特性测量装置以及光学特性测量装置的设定方法有效
| 申请号： | 201680034686.3 | 申请日： | 2016-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107709941B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 前田穣 | 申请（专利权）人： | 柯尼卡美能达株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/44 | 分类号： | G01J1/44;G01J1/38;G01J3/51;G01M11/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光学特性测量装置具备：输入部，关于使用分光传感器的测量输入第1曝光时间以及第1累计次数；计算部，使用所输入的第1曝光时间和第1累计次数来计算使用分光传感器的测量的测量时间(第1测量时间)；以及确定部，以减小第1测量时间与使用二维成像传感器的测量的测量时间(第2测量时间)之差或者消除差的方式确定使用二维成像传感器的测量中的第2曝光时间以及第2累计次数中的至少一方。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 特性 测量 装置 以及 设定 方法 | ||
【主权项】：
一种光学特性测量装置，具备：第1光学传感器，将测量对象中的二维区域作为测量范围；第2光学传感器，将包含于所述二维区域且比所述二维区域窄的点区域作为测量范围；输入部，关于使用所述第1光学传感器以及所述第2光学传感器中的一个光学传感器的测量被输入第1曝光时间以及第1累计次数；计算部，使用被输入到所述输入部的所述第1曝光时间和所述第1累计次数计算第1测量时间，该第1测量时间是使用所述一个光学传感器的测量的测量时间；以及确定部，以减小所述第1测量时间与第2测量时间之差或者消除所述差的方式确定使用所述第1光学传感器以及所述第2光学传感器中的另一个光学传感器的测量中的第2曝光时间以及第2累计次数中的至少一方，所述第2测量时间是使用所述另一个光学传感器的测量的测量时间。
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