[发明专利]多图案技术的混合着色方法有效
| 申请号： | 201680034941.4 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN107743598B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 陈向东;H·B·林;权武尚;M·马拉布里;张静维;R·G·斯特法尼;杨海宁;K·雷姆;S·S·宋;M·古普塔;F·旺 | 申请（专利权）人： | 高通股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;杜波 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在本公开的一方面中，提供了一种用于为多图案化工艺分配特征颜色的方法、计算机可读介质和装置。该装置接收集成电路布局信息，该集成电路布局信息包括特征集合以及多个颜色中的用于特征集合的第一特征子集中的每个特征的分配颜色。另外，该装置对第二特征子集执行颜色分解以将颜色分配给第二特征子集中的特征。第二特征子集包括特征集合中的、不被包括于具有分配颜色的第一特征子集中的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 技术 混合 着色 方法 | ||
【主权项】：
一种为多图案化工艺分配特征颜色的方法，包括：接收集成电路布局信息，所述集成电路布局信息包括特征集合以及多个颜色中的、用于所述特征集合的第一特征子集中的每个特征的分配颜色；以及对第二特征子集执行颜色分解以将颜色分配给第二特征子集中的特征，所述第二特征子集包括所述特征集合中的、不被包括于具有所述分配颜色的所述第一特征子集中的特征。
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