[发明专利]一种蚀刻液再生与铜回收的装置及方法

摘要

本发明涉及一种蚀刻液再生与铜回收的装置，包括；执行蚀刻工艺的蚀刻槽；填充所述蚀刻槽，并具有蚀刻力的蚀刻液；配置在所述蚀刻槽，以测定铜浓度的光传感器；用于使在所述蚀刻槽中生成的废蚀刻液再生的电解镀铜槽；配置在所述电解镀铜槽的阴极电极与阳极电极；连接所述阴极电极与所述阳极电极，从而施加电流的整流器；及用于控制所述蚀刻槽与整流器的控制单元，在蚀刻槽，随着蚀刻的进行，将老化的废蚀刻液移送至电解镀铜槽，并且以电沉积的方式使其再生，从而可以防止生成废蚀刻液，并且无需用于使在蚀刻槽中生成的废蚀刻液再生的再生槽与用于使在再生槽中析出的铜回收的回收槽，具有通过电解镀铜的简单地方法能够回收铜，并再生蚀刻液的优点。

主权项

一种蚀刻液再生与铜回收的装置，包括：执行蚀刻工艺的蚀刻槽；填充在所述蚀刻槽内，并具有蚀刻力的蚀刻液；配置在所述蚀刻槽内，以测定铜浓度的光传感器；用于使在所述蚀刻槽中生成的废蚀刻液再生的电解镀铜槽；配置在所述电解镀铜槽内的阴极电极与阳极电极；连接所述阴极电极与所述阳极电极，从而接通电流的整流器；及用于控制所述蚀刻槽与整流器的控制单元；所述阳极电极使用在钛表面镀有包含铱的铂族氧化物的不溶性电极；感知蚀刻液的铜浓度的光传感器，在铜浓度超过一定水平时，向控制单元发送信号。