[发明专利]具有表面光栅耦合器和边缘耦合器的光开关有效

专利信息
申请号: 201680035879.0 申请日: 2016-07-05
公开(公告)号: CN107710042B 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 帕特瑞克·杜麦思 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: G02B6/26 分类号: G02B6/26;G02B6/34
代理公司: 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 光子集成电路(PIC)(600)包括:光开关(650)、多个输入边缘耦合器(620),包括第一输入边缘耦合器(620)并耦合至所述光开关(650)、多个输入表面光栅耦合器(SGC)(630),包括第一输入SGC(630)并耦合至所述光开关(650)、多个输出边缘耦合器(620),包括第一输出边缘耦合器(620)并耦合至所述光开关(650)、以及多个输出SGC(630),包括第一输出SGC(630)并耦合至所述光开关(650)。制造PIC(600)的方法(1100)包括:图案化和蚀刻硅衬底,以产生第一光开关(650)、耦合至所述第一光开关(650)的第一表面光栅耦合器(SGC)(630)以及耦合至所述第一光开关(650)的第一边缘耦合器(620)。
搜索关键词: 具有 表面 光栅 耦合器 边缘 开关
【主权项】:
1.一种光子集成电路PIC,包括:/n光开关;/n多个输入边缘耦合器,包括第一输入边缘耦合器并耦合至所述光开关;/n多个输入表面光栅耦合器SGC,包括第一输入表面光栅耦合器SGC并耦合至所述光开关;/n多个输出边缘耦合器,包括第一输出边缘耦合器并耦合至所述光开关;以及/n多个输出表面光栅耦合器SGC,包括第一输出表面光栅耦合器SGC并耦合至所述光开关。/n
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