[发明专利]具有表面光栅耦合器和边缘耦合器的光开关有效
申请号: | 201680035879.0 | 申请日: | 2016-07-05 |
公开(公告)号: | CN107710042B | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 帕特瑞克·杜麦思 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
主分类号: | G02B6/26 | 分类号: | G02B6/26;G02B6/34 |
代理公司: | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 光子集成电路(PIC)(600)包括:光开关(650)、多个输入边缘耦合器(620),包括第一输入边缘耦合器(620)并耦合至所述光开关(650)、多个输入表面光栅耦合器(SGC)(630),包括第一输入SGC(630)并耦合至所述光开关(650)、多个输出边缘耦合器(620),包括第一输出边缘耦合器(620)并耦合至所述光开关(650)、以及多个输出SGC(630),包括第一输出SGC(630)并耦合至所述光开关(650)。制造PIC(600)的方法(1100)包括:图案化和蚀刻硅衬底,以产生第一光开关(650)、耦合至所述第一光开关(650)的第一表面光栅耦合器(SGC)(630)以及耦合至所述第一光开关(650)的第一边缘耦合器(620)。 | ||
搜索关键词: | 具有 表面 光栅 耦合器 边缘 开关 | ||
【主权项】:
1.一种光子集成电路PIC,包括:/n光开关;/n多个输入边缘耦合器,包括第一输入边缘耦合器并耦合至所述光开关;/n多个输入表面光栅耦合器SGC,包括第一输入表面光栅耦合器SGC并耦合至所述光开关;/n多个输出边缘耦合器,包括第一输出边缘耦合器并耦合至所述光开关;以及/n多个输出表面光栅耦合器SGC,包括第一输出表面光栅耦合器SGC并耦合至所述光开关。/n
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