[发明专利]光学部件及激光加工机在审
| 申请号： | 201680036058.9 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107710025A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 中井秀和;福永圭佑 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;B23K26/064;B23K26/382;G02B1/14;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 何立波,张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光学部件，其在Ge基板的至少单面形成有多层膜，在该光学部件中，所述多层膜的最表层为类金刚石层(DLC层)，在所述Ge基板和所述DLC层之间，形成有从由ZnS层及金属氧化物层构成的组中选择的至少1个层。优选与所述Ge基板相接的层从由ZnS层、Bi2O3层、CeO2层、Cr2O3层、Ta2O5层、HfO2层及ZrO2层构成的组中选择。优选与所述DLC层相接的层从由ZnS层、SiO层、MgO层、Y2O3层、Bi2O3层、CeO2层、Cr2O3层、Ta2O5层、TiO2层、HfO2层及ZrO2层构成的组中选择。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 部件 激光 加工 | ||
【主权项】：
一种光学部件，其在Ge基板的至少单面形成有多层膜，该光学部件的特征在于，该多层膜的最表层为类金刚石层即DLC层，在该Ge基板和该DLC层之间，形成有从由ZnS层及金属氧化物层构成的组中选择的至少1个层。
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