[发明专利]阀组合件及包括阀组合件的流体储存与施配封装

摘要

本发明揭示用于流体供应封装中的流体施配组合件，其中这些流体施配组合件耦合到流体供应器皿以用于施配例如半导体制造流体等流体。在具体实施方案中，所述流体施配组合件经配置以防止将过多力施加到所述流体施配组合件中的阀元件，及/或避免可能导致有毒气体或者在其他方面危险的气体或珍贵气体泄漏的器皿意外或偶然打开状态。本发明还描述用于辅助将例如上述类型的流体供应封装的耦合元件等耦合元件耦合的对准装置，使得因不对准而对这些耦合件的损坏得以避免。

主权项

一种用于流体供应封装中的流体施配组合件，其中所述流体施配组合件与流体供应器皿耦合，所述流体施配组合件包括：阀头，其在其中的阀室中包含流体施配阀，其中所述阀头中的经施配流体流动路径包含阀头入口通路，所述阀头入口通路与所述阀室且在所述流体施配组合件与所述流体供应器皿啮合时与所述流体供应器皿连通；及流体排放通路，其与所述阀室且与所述阀头中的排放端口连通，所述流体排放通路界定所述排放端口的喉部；及防泄漏阀组合件，其经配置以防止流体从所述流体供应器皿经由所述排放端口泄漏到对应流体供应封装的周围环境。