[发明专利]用于在位移装置上可控制地移动一个或多个可移动台的方法和系统有效

专利信息
申请号: 201680037673.1 申请日: 2016-07-06
公开(公告)号: CN107852082B 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 鹿笑冬 申请(专利权)人: 不列颠哥伦比亚大学
主分类号: H02K41/02 分类号: H02K41/02;H01L21/68
代理公司: 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 代理人: 许天易
地址: 加拿大不列颠哥伦比亚省温哥华市*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的各方面提供了用于相对于定子移动可移动台的方法和系统。定子可操作地分成多个定子片。一个或多个可移动台的移动由多个控制器(每个分配有特定的控制责任)来控制。为每个定子扇区提供控制器,其中每个定子扇区包括一个或多个定子片组。来自相邻扇区的控制器共享各种信息以促进一个或多个可移动台相对于定子的可控制移动。
搜索关键词: 用于 位移 装置 控制 移动 一个 多个可 方法 系统
【主权项】:
一种用于相对于定子可控制地移动一个或多个可移动台的系统,所述系统包括:一个或多个可移动台,所述一个或多个可移动台中的每一个可移动台包括一个或多个磁化元件,每个磁化元件具有对应的磁化方向,所述一个或多个可移动台包括第一可移动台;定子,其包括多个扇区,每个扇区包括多个线圈迹线,所述多个扇区还包括包含第一多个线圈迹线的第一扇区和包含第二多个线圈迹线的第二扇区;第一控制器和与所述第一扇区相关联的一个或多个第一放大器,所述第一控制器和所述一个或多个第一放大器被连接以可控制地驱动来自所述第一多个线圈迹线中的一个或多个第一线圈迹线组中的第一电流;第二控制器以及与所述第二扇区相关联的一个或多个第二放大器,所述第二控制器和所述一个或多个第二放大器被连接以可控制地驱动来自所述第二多个线圈迹线中的一个或多个第二线圈迹线组中的第二电流;所述第一控制器和第二控制器经由所述第一控制器和所述第二控制器之间的扇区链路彼此进行双向通信;其中所述第一控制器配置成以从一个或多个第二线圈迹线组中确定用于特定第二线圈迹线组的特定第二基准电流指令,并且经由在所述第一控制器与所述第二控制器之间的扇区链路将所述特定第二基准电流指令传送到所述第二控制器;其中所述第二控制器配置成至少部分基于所述特定第二基准电流指令来确定用于所述特定第二线圈迹线组的特定第二最终基准电流,并且所述第二控制器和所述一个或多个第二放大器被连接以驱动电流进入所述特定第二线圈迹线组并且使所述特定第二线圈迹线组中的电流遵循所述特定第二最终基准电流,由此引起与所述第一可移动台的所述一个或多个磁化元件的相互作用,这引起所述第一可移动台相对于所述定子的相应移动。
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