[发明专利]超声波换能器及超声波检查装置有效
| 申请号： | 201680038034.7 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN107710787B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 町田俊太郎;峰利之;藤崎耕司;竹崎泰一;龙崎大介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;A61B8/00;G01N29/06;G01N29/24;H04R1/40 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 金鲜英;陈彦<国际申请>=PCT/JP2 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在静电电容检测型的超声波换能器中，由于超声波换能器的单元阵列的各单元的膜状物的膜厚偏差，导致单元阵列内的单元的器件特性变得不均匀。超声波换能器具备CMUT芯片(301)，CMUT芯片(301)包括：形成有多个单元的单元阵列区域CAR；以及与单元阵列区域CAR相邻接的周边区域PER，在单元阵列区域CAR配置梁结构体(201)，并且在周边区域PER配置相当于梁结构体(201)的多个图案结构体(311)。由此，将单元阵列区域CAR的单位表面积和周边区域PER的单位表面积的差减小。其结果，能够提高覆盖梁结构体(201)和图案结构体(311)的绝缘膜的膜厚的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 换能器 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种超声波换能器，包括：/n单元阵列区域，其形成有多个单元；以及/n周边区域，其与所述单元阵列区域相邻接，/n所述多个单元各自具有：/n基板；/n第一电极，其形成于所述基板上；/n第一绝缘膜，其形成于所述第一电极上；/n空洞部，其形成于所述第一绝缘膜上，且在俯视时与所述第一电极重叠；/n第二绝缘膜，其形成于所述空洞部上；/n第二电极，其形成于所述第二绝缘膜上，且在俯视时与所述空洞部重叠；/n第三绝缘膜，其形成于所述第二电极上；/n梁结构体，其形成于所述第三绝缘膜上，且在俯视时与所述空洞部重叠；以及/n第四绝缘膜，其覆盖所述梁结构体，且形成于所述第三绝缘膜上，/n在所述周边区域形成有：/n所述第三绝缘膜；/n多个图案结构体，其形成于所述第三绝缘膜上，与所述梁结构体由相同材料形成，并且所述多个图案结构体的配置图案的至少一部分与多个所述梁结构体的配置图案相同，但所述多个图案结构体的配置图案不与多个所述梁结构体的配置图案完全相同；以及/n所述第四绝缘膜，其覆盖所述多个图案结构体。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立制作所，未经株式会社日立制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680038034.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：超声波探头以及超声波检查装置
- 下一篇：静电扬声器及其方法
