[发明专利]固体摄像装置

摘要

本发明所涉及的固体摄像装置(1)具备受光部(10)以及信号读出部(20)。另外，具备控制这些受光部(10)以及信号读出部(20)各自的动作的控制部(30)。受光部(10)在具有互相相对的第1主面以及第2主面的半导体基板的所述第1主面上具有M×N个像素(P1,1～PM,N)。各个像素(Pm,n)包含多个埋入式光电二极管(PD)、电容部(C1)、多个传送用开关(SW1)以及输出用开关(SW2)。由此，能够缩短从各个像素的光电二极管的结电容部读出的电荷读出的时间从而实现了光检测的S/N比或线性表现优异的固体摄像装置。

主权项

一种固体摄像装置，其特征在于：具备：受光部，在具有互相相对的第1主面以及第2主面的半导体基板的所述第1主面上具有多个像素；信号读出部，输出对应于分别从所述多个像素输出的电荷的量的信号值；及控制部，分别控制所述受光部以及所述信号读出部各自的动作，所述多个像素各自分别包含：多个埋入式光电二极管，对应于各个光入射使电荷产生并将该电荷蓄积于结电容部；电容部，蓄积从该多个光电二极管各自的结电容部被传送来的电荷；传送用开关组，用于从所述多个光电二极管各自的结电容部向所述电容部传送电荷；及输出用开关，用于从所述电容部向所述信号读出部输出电荷，所述控制部，使经过整个共同的电荷蓄积期间分别在所述多个像素上对应于光入射产生的电荷蓄积于各个光电二极管的结电容部，所述电荷蓄积期间之后分别在所述多个像素上将所述传送用开关组设为开启状态并从各个光电二极管的结电容部使电荷传送至所述电容部，所述控制部在该电荷传送后分别就所述多个像素依次将所述输出用开关设为开启状态并从所述电容部使电荷向所述信号读出部输出。