[发明专利]对激光诱导正向转移喷射角度的控制有效

专利信息
申请号: 201680040497.7 申请日: 2016-06-07
公开(公告)号: CN107849687B 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: M.泽诺;Z.科特勒 申请(专利权)人: 奥博泰克有限公司
主分类号: C23C14/28 分类号: C23C14/28;C23C14/54;B23K26/57;B23K26/064;B23K26/067
代理公司: 11105 北京市柳沈律师事务所 代理人: 王冉
地址: 以色列*** 国省代码: 以色列;IL
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摘要: 一种用于受体表面上的材料沉积的设备,其包括透明供体基底,所述供体基底具有相反的第一表面和第二表面,且所述设备包括在所述第二表面上的供体薄膜。所述设备还包括光学组件,其配置为引导辐射的射束穿过所述供体基底的第一表面并在所述第二表面上的位置处冲击在所述供体薄膜上,以便诱导熔化材料的液滴在所述位置处以不垂直于所述第二表面的角度从所述供体薄膜喷射到所述受体表面上。
搜索关键词: 激光 诱导 正向 转移 喷射 角度 控制
【主权项】:
1.一种用于受体表面上的材料沉积的设备,其包括:/n透明供体基底,其具有相反的第一表面和第二表面,且所述设备包括在所述第二表面的供体薄膜;以及/n光学组件,其配置为引导辐射的射束穿过所述供体基底的所述第一表面并在所述第二表面上的位置处冲击在所述供体薄膜上,以便诱导熔化材料的液滴在所述位置处以不垂直于所述第二表面的角度从所述供体薄膜喷射到所述受体表面上,/n其中,所述光学组件配置为在所述射束中产生不对称性,所述不对称性被选择成使得所述液滴以不垂直于所述第二表面的选定角度被喷射。/n
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