[发明专利]可调微机电标准具有效
| 申请号： | 201680041460.6 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107850771B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 维雅切斯拉夫·克雷洛夫;阿里尔·瑞兹;大卫·蒙德拉维克 | 申请（专利权）人： | 科技创新动量基金（以色列）有限责任合伙公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;H01S5/022;H01L23/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东;相迎军 |
| 地址： | 以色列，特拉维夫市，以色列特拉维夫大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文公开了一新颖的可调微机电（MEMS）标准具系统，包括：一功能层，被设计有一悬浮第一镜的悬浮结构，第一镜为标准具的孔镜，一孔镜，被结合至所述悬浮结构；以及一背面层，包括一第二镜，所述第二镜为所述标准具的后镜。所述功能层位于所述背面层的上方，且所述背面层可包括包括间隔结构，所述间隔结构从所述背面层朝着孔镜延伸，以在所述孔镜和所述后镜之间定义有一最小间隙，来避免孔镜和后镜之间的碰撞。所述标准具/镜子的宽度间的纵横比可以高的（如至少500），且镜子间的间隙/距离可以为小的，约为十几纳米（nm）。相应地，在一些实施方式中，孔镜和后镜之间的平行度可调节的，来避免与在标准具的光谱透射轮廓内的空间分异有关的像差。 | ||
| 搜索关键词： | 可调 微机 标准 | ||
【主权项】：
一可调微机电（MEMS）标准具系统包括：‑一功能层，被设计有一用于悬浮第一镜的悬浮结构，第一镜为所述标准具的孔镜；‑一孔镜，被结合至所述悬浮结构；以及‑一背面层，包括一第二镜，所述第二镜为所述标准具的后镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科技创新动量基金（以色列）有限责任合伙公司，未经科技创新动量基金（以色列）有限责任合伙公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680041460.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防雷抗干扰线缆综合监控设备
- 下一篇：一种制作电容器的卷绕装置
