[发明专利]粉末涂布装置在审
| 申请号： | 201680042487.7 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN107923032A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 丸子智弘;地主启一郎;伊藤阿弥子 | 申请（专利权）人： | 株式会社古屋金属 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/00;H01M4/88 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 林彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种粉末涂布装置，能够没有杂质混入地成膜使自由选择的元素组合而成的薄膜，且满足所获得的薄膜的组成均匀。本发明的粉末涂布装置具有滚筒3；排气构件4，将滚筒内进行抽真空；以及溅镀装置2，设置在滚筒内；滚筒是主轴C朝向水平方向，且以主轴为中心旋转，关于溅镀装置，是于在放入至滚筒的粉末7的表面形成涂布膜的粉末涂布装置100中，溅镀装置为了安装两个以上的靶6，针对每一个靶具有1个固定部10，在将靶安装在固定部时，各靶相对于主轴的方向在同一水平位置相互并列地配置。 | ||
| 搜索关键词： | 粉末 装置 | ||
【主权项】：
一种粉末涂布装置，具有：滚筒；排气构件，将该滚筒内进行抽真空；以及溅镀装置，设置在所述滚筒内，具有至少1个靶；所述滚筒是主轴朝向水平方向，且以该主轴为中心旋转，所述溅镀装置是在放入至所述滚筒的粉末的表面形成涂布膜，所述粉末涂布装置的特征在于：所述溅镀装置为了安装两个以上的靶，针对每一个靶具有1个固定部，在将所述靶安装在该固定部时，该各靶相对于所述主轴的方向在同一水平位置相互并列地配置。
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