[发明专利]X射线检查方法以及X射线检查装置有效
| 申请号： | 201680042496.6 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN108307656B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 浦野雄太;张开锋;的场吉毅;竹田明弘 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/10;G01N23/18;G01N23/083 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 高迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，在X射线检查装置中，对于有厚度的被检查物，也不会恶化空间分辨率就能够进行基于时间延迟积分的检测。本发明的X射线检查装置(100)具备：X射线源(1)，产生X射线；输送部(3)，输送试料(S)；检测部，具备检测由X射线源(1)产生并透射了由输送部(3)输送的试料(S)的X射线的时间延迟积分(TDI)型的检测器(4)；以及缺陷判定部(7)，对由时间延迟积分型的检测器(4)进行检测而得到的信号进行处理，判定试料中的缺陷，输送部(3)在试料(S)通过检测部的时间延迟积分型的检测器(4)前时，一边与输送同步地使试料(S)旋转，一边输送。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 检查 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种X射线检查装置，其特征在于，具备：X射线源，产生X射线；输送部，输送试料；检测部，具备时间延迟积分型的检测器，该时间延迟积分型的检测器检测由所述X射线源产生并透射了由所述输送部输送的所述试料的X射线；以及缺陷判定部，对由所述检测部的时间延迟积分型的检测器检测透射了所述试料的X射线而得到的信号进行处理，判定所述试料中的缺陷，所述输送部在所述试料通过所述检测部的所述时间延迟积分型的检测器前时，一边与所述输送同步地使所述试料旋转一边输送。
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