[发明专利]含氟化合物、活性聚合引发剂、含氟聚合物、含氟聚合物的制造方法及抗蚀剂组合物

摘要

本发明的目的在于，提供能够容易得到、而且适合作为活性自由基聚合的引发剂使用的含氟化合物、以及没有异物的产生、拒水性等拒液性优异、在抗蚀剂组合物中可以适合作为流平剂使用的含氟聚合物，提供下述通式(1)或通式(2)(式中，PFPE为聚(全氟亚烷基醚)链。X1各自为具有仲碳原子或叔碳原子、且具有与该仲碳原子或叔碳原子直接键合的溴原子或氯原子的1价有机基团。R1、R2各自为碳原子数1～4的亚烷基。R3为氟原子或碳原子数1～4的全氟烷基。)所示的含氟化合物。

主权项

一种含氟化合物，其特征在于，由下述通式(1)或通式(2)表示，式中，PFPE为聚(全氟亚烷基醚)链，X1各自为具有仲碳原子或叔碳原子、且具有与该仲碳原子或叔碳原子直接键合的溴原子或氯原子的1价有机基团，R1、R2各自为碳原子数1～4的亚烷基，R3为氟原子或碳原子数1～4的全氟烷基。