[发明专利]磁检测装置有效
申请号: | 201680045285.8 | 申请日: | 2016-06-21 |
公开(公告)号: | CN107850647B | 公开(公告)日: | 2020-03-03 |
发明(设计)人: | 下砥隆;中村润;山下隆介;长尾知彦;山本道治 | 申请(专利权)人: | 爱知制钢株式会社 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02;H01L43/08 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 赵晶;高培培 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种不仅实现小型化、薄型化而且也能实现高精度化的磁检测装置。本发明的磁检测装置(1)具备:基板(S1);MI元件,配置于基板,具有对延伸方向的外部磁场分量进行感应的磁敏线(W1)和环绕磁敏线的检测线圈(C1);及磁场变向体(F1),对磁敏线的周围的外部磁场进行变向。本发明的磁场变向体具有:由非磁性材料构成的芯部(F10);将芯部的至少一部分的外侧覆盖的由软磁性材料构成的壳部(F11)。这样磁场变向体不是软磁性材料的实心构造而成为空心构造,因此与以往相比能大幅降低软磁性材料的体积,在磁场变向体产生的磁滞也大幅缩小。因此,根据本发明的磁检测装置,也能更高精度地检测与基板正交的磁场分量。 | ||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种磁检测装置,具备:基板;磁阻抗元件,配置于该基板,具有对延伸方向的外部磁场分量进行感应的磁敏线和环绕该磁敏线的检测线圈,该磁阻抗元件称为“MI元件”;及磁场变向体,至少一部分配置在该基板上或该基板内,对该磁敏线的周围的外部磁场进行变向,所述磁检测装置的特征在于,所述磁场变向体具有:由非磁性材料构成的芯部;及将该芯部的至少一部分的外侧覆盖的由软磁性材料构成的壳部。
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