[发明专利]曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置

摘要

本发明提供一种集约型曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置，曝光用光源模块单元通过模块的组合来使得光输出功率最大化，从而实现低功耗，尤其，实现高效率、高输出的单波长、短波长的紫外线光，因此以可以确保曝光性能的同时经济上可以代替现有的曝光装置的光源的形式进行了改良，曝光性能能够使得曝光图形的微细化和分辨率显著提高，其中，模块的组合包括：中心光源部，其包括光源面板和光学面板，光源面板由多个单位紫外线发光元件(UV LED)以矩阵形态的阵列结构安装于电路板上而形成，光学面板以与所述光源面板相面对的形式配置于所述发光元件的光发射侧，多个单位聚光透镜在光学面板构成为从分别与所述发光元件相对应的位置相对于主光轴向经过位于所述光源面板上的紫外线发光元件阵列的中心的任意的基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的阵列结构；多个外围光源部，其以放射状均等地配置为朝向所述中心光源部的单位紫外线发光元件的主光发射轴倾斜的状态。

主权项

1.一种曝光用光源模块单元，其特征在于，包括：光源面板，其设置为第一电路板以并排的状态装载于一面中央部，多个单位紫外线发光元件以矩阵形态的阵列结构安装于第一电路板，以便构成中心光源部，并且多个单位紫外线发光元件以矩阵形态的阵列结构安装于至少一个以上的第二电路板，从而构成外围光源部，至少一个以上的第二电路板在所述第一电路板的周围设置为上端部逐渐向前方凸出并倾斜地被装载；光学面板，其由多个单位聚光透镜设置于第一支撑面板和第二支撑面板而形成，第一支撑面板和第二支撑面板设置为以分别与所述第一电路板和第二电路板相对应地并排的状态配置于所述单位紫外线发光元件的光发射侧，多个单位聚光透镜排列为分别与单位紫外线发光元件的阵列结构相对应的阵列结构，所述单位聚光透镜排列的状态使以相对应的形式排列的单位紫外线发光元件的主光轴向经过构成所述光源面板的中心光源部的紫外线发光元件阵列的中心的基准中心轴线侧偏心，针对从所述紫外线发光元件到受光区域(A)为止的光学距离“a”，从经过位于所述光源面板上的紫外线发光元件阵列的中心(O)的基准中心轴线侧相隔开的紫外线发光元件的间隔距离“b”、所述紫外线发光元件和聚光透镜的相面对的面的间隔距离“c”、所述各个紫外线发光元件的中心轴和聚光透镜的中心轴之间的偏心距离“x”以及受光区域(A)的直径“t”的关系设定为使得聚光透镜的偏心距离“x”的基准满足“x＝b*c/a”，所述“x”的范围设定为满足“bc(2b‑t)/2ab<x<bc(2b+t)/2ab”。