[发明专利]加工对象物切断方法和加工对象物切断装置

摘要

一种加工对象物切断方法，将包含由结晶材料构成的基板与配置于基板的表面上的多个功能元件的加工对象物切断。一种加工对象物切断方法，其包括：结晶方位确定工序，确定基板的结晶方位；切断预定线设定工序，在结晶方位确定工序后，在加工对象物设定通过形成于相邻的功能元件之间的街道区域的切断预定线；和切断工序，在切断预定线设定工序后，沿着切断预定线，将加工对象物切断。切断预定线设定工序中，在街道区域的延伸方向与结晶方位不一致时，在加工对象物设定与结晶方位平行且相对于街道区域的延伸方向倾斜的切断预定线。

主权项

一种加工对象物切断方法，其特征在于：是将包含由结晶材料构成的基板与配置于所述基板的表面上的多个功能元件的加工对象物切断的加工对象物切断方法，所述加工对象物切断方法包括：结晶方位确定工序，确定所述基板的结晶方位；切断预定线设定工序，在所述结晶方位确定工序后，在所述加工对象物设定通过形成于相邻的功能元件之间的街道区域的切断预定线；和切断工序，在所述切断预定线设定工序后，沿着所述切断预定线，将所述加工对象物切断，所述切断预定线设定工序中，在所述街道区域的延伸方向与所述结晶方位不一致时，在所述加工对象物设定与所述结晶方位平行且相对于所述街道区域的延伸方向倾斜的所述切断预定线。