[发明专利]装置的制造方法及组合物有效
| 申请号： | 201680048864.8 | 申请日： | 2016-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN107924006B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 大幸武司 | 申请（专利权）人： | 东洋合成工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;B29C59/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 蒋林清 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种装置的制造方法，该装置具有基材和配置在该基材上的第2膜，该制造方法包括：使用含有聚合性单体和抗氧化剂的组合物在基材上形成第1膜的步骤；及在使具有凹凸图案的模具的至少一部分和所述第1膜接触的状态下或者使所述模具的至少一部分和所述第1膜接触后，使所述第1膜硬化而形成第2膜的步骤；并且所述抗氧化剂为受阻胺化合物及分子量为700以上的受阻酚化合物中的至少任一者，所述组合物满足(t |
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| 搜索关键词： | 装置 制造 方法 组合 | ||
【主权项】：
一种装置的制造方法，该装置具有基材和配置在该基材上的第2膜，该制造方法包括：使用含有聚合性单体和抗氧化剂的组合物在基材上形成第1膜的步骤；及在使具有凹凸图案的模具的至少一部分和所述第1膜接触的状态下或者使所述模具的至少一部分和所述第1膜接触后，使所述第1膜硬化而形成第2膜的步骤；并且所述抗氧化剂为受阻胺化合物及分子量为700以上的受阻酚化合物中的至少任一者，所述组合物满足(t0(T)－tx(T))/t0(T)×100≦13.0的关系(所述式中，t0(T)是具有凹凸部的硬化膜的所述凹凸部的凸部的高度，该硬化膜是在利用所述组合物形成涂膜后，在使所述涂膜和具有凹部的深度为3μm及凹部的线宽为5μm的凹凸部的模具的所述凹凸部接触的状态下使所述涂膜硬化而获得，tx(T)是将所述硬化膜以5分钟从25℃升温到260℃后在260℃下保持5分钟，并以30分钟冷却到25℃后的所述凸部的高度)。
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