[发明专利]微波发生器以及合成金刚石材料的制造有效
| 申请号： | 201680049071.8 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN107949900B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | J·R·布莱顿;N·珀金斯 | 申请（专利权）人： | 六号元素技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)系统中使用的微波发生器系统，微波发生器系统包括：微波发生器单元，被配置为以适合于经由化学气相沉积处理制造合成金刚石材料的操作功率输出产生微波；故障检测系统，被配置为检测微波发生器单元中导致操作功率输出的减少或者频率的改变的故障；以及重新启动系统，被配置为响应检测到故障而重新启动微波发生器单元并且在微波发生器单元中导致操作功率输出的减少或者频率的改变的故障之后少于10秒的时间段内，恢复操作功率输出或者频率。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 发生器 以及 合成 金刚石 材料 制造 | ||
【主权项】：
一种用于在微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)系统中使用的微波发生器系统，所述微波发生器系统包括：微波发生器单元，被配置为以适合于经由化学气相沉积处理制造合成金刚石材料的操作功率输出产生微波；故障检测系统，被配置为检测所述微波发生器单元中导致操作功率输出的减少或者频率的改变的故障；以及重新启动系统，被配置为响应检测到故障而重新启动所述微波发生器单元，并且在所述微波发生器单元中导致操作功率输出的减少或者频率的改变的故障之后少于10秒的时间段内恢复操作功率输出或者频率。
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