[发明专利]具有封闭控制系统的MEMS声换能器有效
| 申请号： | 201680049970.8 | 申请日： | 2016-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN107925834B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 安德里亚·韦斯高尼·克莱里西·贝尔特拉米;费鲁乔·博托尼 | 申请（专利权）人： | 悠声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R29/00 | 分类号： | H04R29/00;H04R17/00;H04R3/00;H04R3/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨丽;陈斌 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于生成和/或检测可听波长频谱中的声波的MEMS声换能器，尤其是MEMS扬声器和/或MEMS话筒，其具有支撑元件(9)、沿z轴相对于支撑元件(9)可偏转的膜(2)、支撑在支撑元件(9)上的用于使膜(2)偏转的至少一个压电致动器(7)、以及用于驱动致动器(7)的电子控制单元(11)。根据本发明，MEMS声换能器的特征在于至少一个位置传感器(19)，控制单元(11)通过该位置传感器能够提供取决于膜偏转的传感器信号(37)。此外，控制单元(11)被设计成使得为了功能性自测试、为了失真减少、为了损坏保护和/或为了行为改变的补偿，传感器信号(37)能够被分析和/或能够与存储在控制单元(11)中的参考信号(8)相比较，并且致动器(7)能够通过计及分析结果(35)和/或比较结果(34)以受控的方式被驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 封闭 控制系统 mems 声换能器 | ||
【主权项】：
一种用于生成和/或检测可听波长频谱中的声波的MEMS声换能器，具体地是MEMS扬声器和/或MEMS话筒，包括：支撑元件(9)，能够沿z轴相对于所述支撑元件(9)偏转的膜(2)，支撑在所述支撑元件(9)上的用于使所述膜(2)偏转的至少一个压电致动器(7)，用于驱动所述致动器(7)的电子控制单元(11)，以及至少一个位置传感器(19)，所述控制单元(11)能够通过所述至少一个位置传感器(19)来提供取决于膜偏转的传感器信号(37)，其特征在于所述控制单元(11)被设计成使得：它执行功能性自测试过程、失真减少过程、损坏保护过程和/或用于行为改变的补偿的补偿过程，其中所述控制单元(11)分析所述传感器信号(37)以获得分析结果(35)和/或将所述传感器信号(37)与存储在所述控制单元(11)中的参考信号(8)进行比较以获得比较结果(34)，以及通过计及所述分析结果(35)和/或所述比较结果(34)以受控的方式来驱动所述致动器(7)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于悠声股份有限公司，未经悠声股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680049970.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：听力设备部件的配置
- 下一篇：头外定位处理装置以及头外定位处理方法
