[发明专利]用于制造工具的传感器模块有效
| 申请号： | 201680049986.9 | 申请日： | 2016-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN107921566B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | D·E·希尔顿;C·兰特 | 申请（专利权）人： | 林德股份公司 |
| 主分类号： | B23K9/095 | 分类号： | B23K9/095;B23K9/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 钱盛赟;陈斌 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于制造工具与该制造工具的头端之间的连接的传感器模块。该模块包括可连接到制造工具的接口，该接口包括：用于接收由制造工具传送到该头端的功率的电源端口、用于接收由制造工具递送到该头端的气体的气体端口，以及可连接到该头端的另一接口，该另一接口包括用于向头端递送功率的另一电源端口、用于将来自第一气体端口的气体递送至头端的另一气体端口。该模块还具有存储器、用于测量传送到头端的功率的传感器、用于测量递送至头端的气体的另一传感器、用于在传感器模块与远程位置之间传送信息的装置、以及电连接到该存储器、传送装置和各传感器的处理器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 工具 传感器 模块 | ||
【主权项】：
暂无信息
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