[发明专利]多晶硅制造装置有效
| 申请号： | 201680052170.1 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN108025918B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 朴成殷;金知雄;李熙东 | 申请（专利权）人： | 韩华化学株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;B01J19/08 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 张皓;李海明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅制造装置，其包括：反应器，其被设置在基板上以形成反应室；一对电引线，其被安装在基板上以延伸至反应室的内部；棒丝，其被安装在反应室的电引线上，并通过上端的棒桥彼此连接以通过由气体入口引入的原料气体的化学气相沉积来形成硅棒；和冷却夹套，其被插入至在反应器的上侧设置的通孔中以被基板支撑，通过形成排出反应后气体的气体通道与在基板上形成的气体出口连接，以及所述冷却夹套通过形成在气体通道外面的冷却剂通道而从反应器的外面引入和循环低温冷却剂至冷却剂通道以将高温冷却剂排出至反应器的外面。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅制造装置，其包括：反应器，其被设置在基板上以形成反应室；一对电引线，其被安装在所述基板上以延伸至所述反应室的内部；棒丝，其被安装在所述反应室的电引线上，并且通过在上端的棒桥彼此连接以通过由气体入口引入的原料气体的化学气相沉积来形成硅棒；和冷却夹套，其被插入至在所述反应器上侧设置的通孔以被所述基板支撑，通过形成排出反应后气体的气体通道与在所述基板上形成的气体出口连接，以及所述冷却夹套通过形成在气体通道外面的冷却剂通道而从反应器的外面引入和循环低温冷却剂至冷却剂通道以将高温冷却剂排出至反应器的外面。
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