[发明专利]光谱光束轮廓叠对度量

摘要

一种光谱光束轮廓度量系统同时在大波长范围及大入射角AOI范围内检测测量信号。在一个方面中，将多波长照明光束重新整形成窄线形光束，所述窄线形光束被投射到叠对度量目标上，使得所述线形光束的方向与所述叠对度量目标的光栅结构的延展方向对准。所收集光沿一个方向根据AOI且沿另一方向根据波长而跨越检测器分散。每一检测器像素处的所测量信号与特定AOI及波长相关联。所述所收集光包含一级衍射光、零级衍射光或其组合。在一些实施例中，在所述检测器的单独区上检测一级衍射光及零级衍射光。

主权项

1.一种度量系统，其包括：多波长照明源，其经配置以提供具有多个波长及二维光束强度横截面的照明光束；光束整形元件，其经配置以将所述照明光束重新整形，使得所述经重新整形照明光束具有大致是一维且由长度维度表征的光束强度横截面；高数值孔径NA物镜，其经配置以接收所述经重新整形照明光束且用所述经重新整形照明光束在入射角范围内照明叠对度量目标，使得所述经重新整形照明光束的所述长度维度沿第一方向投射到所述叠对度量目标上，所述第一方向与所述叠对度量目标的光栅结构的延展方向平行，所述高NA物镜进一步经配置以响应于所述照明而从所述叠对度量目标收集光；及第一二维检测器，其经配置以沿着所述第一二维检测器的第一维度根据入射角且沿着所述第一二维检测器的第二维度根据波长检测所述所收集光。