[发明专利]用于制造被构造为堆的多层致动器的方法

摘要

本发明涉及一种用于制造被构造为堆（1）的多层致动器的方法，所述多层致动器由多个对电场的施加做出反应的材料层（2）和多个电极层（3、4）形成。每个材料层（2）都布置在这些电极层（3、4）中的两个电极层之间。将相应的绝缘层（IS1、IS2）涂覆到两个在几何形状上没有连在一起的周向区域（1a、1b）中的相应的周向区域（1a、1b）上；产生经过绝缘层（IS1、IS2）中的第一和第二绝缘层（IS1、IS2）朝向所述电极层（3、4）中的每隔一个电极层（3）的第一和第二接触孔（KL1、KL2）；以及在被烧结的多层棒材（10）上，用导电材料（EL1、EL2）基本上整面地覆盖相应的绝缘层（IS1、IS2），其中接触孔（KL1、KL2）填充导电材料（EL），所述多层棒材由多个材料层（2）和多个电极层（3、4）沿多层棒材（10）的堆叠方向（hS）的交替的布置组成。紧接着，将多层棒材（10）平行于其深度方向（tS）和堆叠方向（hS）地分割成多个多层致动器。

主权项

一种用于制造被构造为堆（1）的多层致动器的方法，所述多层致动器由多个对电场的施加做出反应的材料层（2）和多个电极层（3、4）形成，其中每个材料层（2）都布置在所述电极层（3、4）中的两个电极层之间，其中执行如下步骤：a) 将相应的绝缘层（IS1、IS2）涂覆到两个在几何形状上没有连在一起的周向区域（1a、1b）中的相应的周向区域（1a、1b）上；b) 尤其是借助于激光结构化来产生经过所述绝缘层（IS1、IS2）中的第一绝缘层（IS1）朝向所述电极层（3、4）中的每隔一个电极层（3）的第一接触孔（KL1）；c) 尤其是借助于激光结构化来产生经过所述绝缘层（IS1、IS2）中的第二绝缘层（IS2）朝向所述电极层（3、4）中的其余电极层（4）的第二接触孔（KL2）；而且d) 用导电材料（EL1、EL2）至少基本上整面地覆盖相应的绝缘层（IS1、IS2），其中所述接触孔（KL1、KL2）填充所述导电材料（EL）；其特征在于如下步骤：‑ 在被烧结的多层棒材（10）上执行步骤a)至d)，所述被烧结的多层棒材由多个材料层（2）和多个电极层（3、4）沿所述多层棒材（10）的堆叠方向（hS）的交替的布置组成，其中棒材（10）的垂直于所述堆叠方向（hS）的深度对应于所述多层致动器的深度，而所述多层棒材（10）的垂直于所述堆叠方向（hS）的宽度（B）对应于多个多层致动器的宽度；而且‑ 将所述多层棒材（10）平行于其深度方向（tS）和堆叠方向（hS）地分割成多个多层致动器，作为步骤e)。