[发明专利]SEM影像取得装置及SEM影像取得方法有效
| 申请号： | 201680052728.6 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN108352283B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 山藤泉 | 申请（专利权）人： | 株式会社和龙 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/22;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及SEM影像取得装置及SEM影像取得方法，其目的在于在要取得不同扫描方向的影像的情况，以像素对应方式扫描电子束而取得影像然后加以合成，来取得来自遮罩上的同一位置的像素信号的影像而实现合成。本发明具备有：扫描信号产生装置，其产生扫描信号，该扫描信号为使在试料上扫描的电子束的扫描方向旋转，且照射到与试料上的同一区域且同一像素对应的试料上的位置；偏向装置，根据产生的扫描信号照射电子束；检测暨放大装置，检测并放大来自于照射了电子束的试料上的位置的信号；以及影像产生装置，根据检测出且放大后的信号，产生照射于与试料上的同一区域且同一像素对应的试料上的位置时的影像。 | ||
| 搜索关键词： | sem 影像 取得 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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