[发明专利]激光加工装备的自动检查装置以及方法

摘要

本发明揭示一种用于检查激光加工装备的加工品质的检查装置及方法。激光加工装备向加工对象物的内部照射激光束而形成重整区域。所揭示的自动检查装置包括：图像薄膜，涂布至上述加工对象物的下表面；图像检测单元，检测因照射上述激光束而形成于上述图像薄膜的上述加工对象物的损伤图像；以及图像处理单元，对借由上述图像检测单元而检测到的损伤图像进行处理。

主权项

一种激光加工装备的自动检查装置，用于检查激光加工装备的加工品质，所述激光加工装备向加工对象物的内部照射激光束而形成重整区域，其特征在于所述激光加工装备的自动检查装置包括：图像薄膜(image film)，涂布至所述加工对象物的下表面；图像检测单元，检测因照射所述激光束而形成于所述图像薄膜的所述加工对象物的损伤图像(damage film)；以及图像处理单元(image processing unit)，对借由所述图像检测单元(image sensing unit)而检测到的所述损伤图像进行处理。