[发明专利]厚度测定装置在审
申请号: | 201680053887.8 | 申请日: | 2016-09-28 |
公开(公告)号: | CN108027235A | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 米川荣 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝基础设施系统株式会社 |
主分类号: | G01B15/02 | 分类号: | G01B15/02 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 庞乃媛 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明实施方式的厚度测定装置具备:放射线源,对测定对象物照射放射线;放射线检测器,配置于隔着上述测定对象物与上述放射线源对置的位置,对透射了上述测定对象物的放射线进行检测;多个A/D转换器,相对于上述放射线检测器分别独立地连接,将来自上述放射线检测器的输出信号转换为数字值;厚度计算机构,基于上述多个A/D转换器的数字值对上述测定对象物的厚度进行计算;异常检测机构,对上述多个A/D转换器各自的异常进行检测;以及排除机构,将由上述异常检测机构检测到异常的A/D转换器从上述厚度计算机构的计算对象中排除。 | ||
搜索关键词: | 厚度 测定 装置 | ||
【主权项】:
1.一种厚度测定装置具备:放射线源,对测定对象物照射放射线;放射线检测器,配置于隔着上述测定对象物与上述放射线源对置的位置,对透射了上述测定对象物的放射线进行检测;多个A/D转换器,相对于上述放射线检测器分别独立地连接,将来自上述放射线检测器的输出信号转换为数字值;厚度计算机构,基于上述多个A/D转换器的数字值对上述测定对象物的厚度进行计算;异常检测机构,对上述多个A/D转换器各自的异常进行检测;以及排除机构,将由上述异常检测机构检测到异常的A/D转换器从上述厚度计算机构的计算对象中排除。
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