[发明专利]改进的微机电加速计装置

摘要

本结构能够以紧凑的组件尺寸并且以最小的横轴灵敏度实现加速度的双向感测。旋转质量块(100)包括第一框架(102)和第二框架(102)。在一个感测方向上，该结构采用第一框架和第二框架的组合检测质量块，这提高了利用所述装置尺寸可实现的信噪比水平。在另一个感测方向上，具有至少两个感测元件的检测结构(140)用于检测第二框架的检测质量块的位移。由于检测结构(140)的特定内部构造，感测元件在一个方向上的信号贡献相互抵消。

主权项

1.一种用于测量加速度的微机电结构，所述微机电结构包括：转子质量块(100)，其包括第一框架(102)和第二框架(104)；第一弹簧结构(108)，其用于将所述第一框架(102)悬置到从支承平面起的中间位置，其中，所述第一弹簧结构以第一弹簧常数的刚度响应所述第一框架沿第一平面内方向从所述中间位置的位移，并且消除所述第一框架沿除了第一方向之外的方向的位移；主检测结构(110)，其用于检测所述转子质量块(100)沿所述第一方向从所述中间位置的位移；第二弹簧结构(106)，其用于将所述第二框架(104)悬置到从所述第一框架(102)起的中间位置，其中，所述第二弹簧结构以第二弹簧常数的刚度响应所述第二框架沿第二方向从所述中间位置的位移，并且消除所述第二框架沿除了所述第二方向之外的其他方向从所述第一框架的位移，所述第二方向垂直于所述第一方向；次级检测结构(140)，其用于检测所述第二框架(104)的位移，所述次级检测结构的信号包括响应于所述第二框架沿所述第一方向的位移的第一信号分量和响应于所述第二框架沿所述第二方向的位移的第二信号分量；所述次级检测结构(140)包括至少一个次级检测元件(190)，在所述至少一个次级检测元件中，一对次级感测元件(160，162)被定位成使得：所述第二框架(104)沿所述第一方向的位移增加所述一对次级感测元件中的一个次级感测元件(160)对所述第一信号分量的贡献，并且同等地减少所述一对次级感测元件中的另一个次级感测元件(162)对所述第一信号分量的贡献，由此所述一对次级感测元件中的一个次级感测元件(160)对所述第一信号分量的贡献和所述一对次级感测元件中的另一个次级感测元件(162)对所述第一信号分量的贡献相互抵消。