[发明专利]弹性波装置有效
申请号: | 201680055793.4 | 申请日: | 2016-07-25 |
公开(公告)号: | CN108028637B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 岸本谕卓;大村正志;木村哲也 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朴云龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种具备声音反射层的弹性波装置,其中,能够降低特性劣化的可能性。弹性波装置(1)具备:支承基板(2);设置在支承基板(2)上的声音多层膜(3);设置在声音多层膜(3)上的压电基板(4);以及设置在压电基板(4)上的IDT电极(5),声音多层膜(3)具有至少4层声阻抗层,该至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)和声阻抗比低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)高的至少一层高声阻抗层(3b、3d、3f),还具备接合层(9),该接合层(9)设置在从由压电基板(4)侧朝向支承基板(2)侧的第四层声阻抗层(3d)中起直到声音多层膜(3)与支承基板(2)的界面为止的任一位置。 | ||
搜索关键词: | 弹性 装置 | ||
【主权项】:
1.一种弹性波装置,具备:支承基板;声音多层膜,设置在所述支承基板上;压电基板,设置在所述声音多层膜上;以及IDT电极,设置在所述压电基板上,所述声音多层膜具有至少4层声阻抗层,所述至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层和声阻抗比该低声阻抗层高的至少一层高声阻抗层,所述弹性波装置还具备接合层,所述接合层设置在从由所述压电基板侧朝向所述支承基板侧的第四层所述声阻抗层中起直到所述声音多层膜与所述支承基板的界面为止的任一位置。
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